Expertise in Flow & Temperature systemen en infrastructuur



opdrachtgever:ASML
business unit:Hightech systemen
markt:semiconductor industrie
doelgroep:O.E.M.

Voor het bereiken van nanometer positioneernauwkeurigheid bij semiconductor productiemachines, is een hoge temperatuurstabiliteit en contaminatiebeheersing van cruciaal belang.

ACE ontwerpt hiervoor de gas- vloeistof- en vacuümsystemen die volledig worden geïntegreerd in de machines. Het is zeer specialistische materie aangezien het transport betreft van allerlei exotische gassen en vloeistoffen. ACE heeft, door jarenlange ervaring, hierin een competentie opgebouwd en ontwerpt deze systemen met alle specifieke onderdelen en infrastructuur voor diverse platvormen.

ACE heeft hiervoor een projectorganisatie staan op locatie van ACE, die het hele product generatie proces van A tot Z doorloopt. Van elementaire productspecificaties, volumeclaims, ontwerp en engineering, tot en met de acceptatietest en de ondersteuning c.q. overdracht bij de inbouw door de fabriek. ACE voert de regie over de werkzaamheden en draagt de verantwoordelijk voor de planning en een tijdige en juiste oplevering van het product. Bij het uitvoeren van deze taken is ACE vertrouwd met de specifieke manier van werken. Van het definiëren van de tot de vrijgave van het product naar de fabriek. Alle ontwerp- en detailleerwerkzaamheden worden uitgevoerd in NX (CAD). Binnen Team Center Engineering en SAP wordt alle documentatie, productstructuren en revisies vastgelegd. De gemiddelde grootte van het F&T teams varieert tussen de 10 en 15 ingenieurs.